サセプターなどの半導体製造装置部品
550mmφと世界最大クラスの窒化アルミニウム部品も製造可能
機能性素材 | 窒化アルミニウム | 窒化アルミニウム部品
半導体製造装置(前工程用)は、デザインルール微細化とウェーハ大口径化(300mmφ以上)への対応が求められています。それには、装置を構成する部品の材料の選定が極めて重要となります。
窒化アルミニウム(AlN)は、熱伝導性・熱放射性(放熱)、耐熱衝撃性、電気絶縁性に優れ、Siウェーハにマッチした熱膨張をもつ、特性のバランスの良い材料です。
【熱伝導率】
【外形寸法】
エッチングなどサセプター各種、 半導体製造装置用CVD、 静電チャック、ヒーター均熱板
真空チャック、 ダミーウエハー、ターゲット、化合物半導体製造装置用部品 他
特性 | FAN-90 | FAN-170 | FAN-200 | ||
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熱伝導率 | W/m・K(RT) | 90 | 170 | 200 | |
熱放射率 | (100℃) | 0.93 | |||
熱膨張係数 | 10-6/℃(RT~400℃) | 4.5 | |||
耐熱衝撃 | ΔT(水中落下) | 400(文献値) | |||
絶縁抵抗 | Ω・cm(RT) | >1013 | |||
絶縁耐圧 | kV/mm(RT) | 15 | |||
誘電率 | (1MHz) | 8.8 | |||
誘電損失 | 10-4(1MHz) | 5 | |||
曲げ強度 | MPa | 250-300 | 300-400 | ||
密度 | g/cm3 | 3.2 | 3.3 | ||
Y(イットリウム) | wt% | 0.0 | 3.4 | ||
O(酸素) | % | 0.6 | 1.7 |
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