サセプターなどの半導体製造装置部品
550mmφと世界最大クラスの窒化アルミニウム部品も製造可能
ビジネス分野
  • 半導体製造装置用CVD
  • エッチングなどサセプター各種
  • 静電チャック
  • ヒーター均熱板
  • 真空チャック
  • ヒーター
  • ダミーウエハー
  • ターゲット
  • 化合物半導体製造装置用部品
  • 概要
  • 仕様

半導体製造装置(前工程用)は、デザインルール微細化とウェーハ大口径化(300mmφ以上)への対応が求められています。それには、装置を構成する部品の材料の選定が極めて重要となります。
窒化アルミニウム(AlN)は、熱伝導性・熱放射性(放熱)、耐熱衝撃性、電気絶縁性に優れ、Siウェーハにマッチした熱膨張をもつ、特性のバランスの良い材料です。

【熱伝導率】

  • 90W/k、170W、200W、230W

 

【外形寸法】

  • 最大φ550mmまで製造可能
特長
  • 外形寸法最大φ550mmまで製造可能
  • 熱伝導・熱放射率が大きく、均熱性が高い
  • 熱衝撃に強く、急熱・急冷に耐える
  • Siにマッチした低熱膨張
  • フッ素系ガス耐食性に優れる

 

 

用途

エッチングなどサセプター各種、 半導体製造装置用CVD、 静電チャック、ヒーター均熱板

真空チャック、 ダミーウエハー、ターゲット、化合物半導体製造装置用部品 他

 

仕様
特性 FAN-90 FAN-170 FAN-200
熱伝導率 W/m・K(RT) 90 170 200
熱放射率 (100℃) 0.93
熱膨張係数 10-6/℃(RT~400℃) 4.5
耐熱衝撃 ΔT(水中落下) 400(文献値)
絶縁抵抗 Ω・cm(RT) >1013
絶縁耐圧 kV/mm(RT) 15
誘電率 (1MHz) 8.8
誘電損失 10-4(1MHz) 5
曲げ強度 MPa 250-300 300-400
密度 g/cm3 3.2 3.3
Y(イットリウム) wt% 0.0 3.4
O(酸素) % 0.6 1.7

 

窒化アルミニウム製品

 

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