窒化アルミニウム部品

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サセプターなどの半導体製造装置部品
550mmφと世界最大クラスの窒化アルミニウム部品も製造可能

ビジネス分野

半導体製造装置用CVD
エッチングなどサセプター各種
静電チャック
ヒーター均熱板
真空チャック
ヒーター
ダミーウエハー
ターゲット
化合物半導体製造装置用部品

半導体製造装置（前工程用）は、デザインルール微細化とウェーハ大口径化（300ｍｍφ以上）への対応が求められています。それには、装置を構成する部品の材料の選定が極めて重要となります。
窒化アルミニウム（AlN）は、熱伝導性･熱放射性（放熱）、耐熱衝撃性、電気絶縁性に優れ、Siウェーハにマッチした熱膨張をもつ、特性のバランスの良い材料です。

【熱伝導率】

90W/k、170W、200W、230W

【外形寸法】

最大φ550mmまで製造可能

特長

外形寸法最大φ550mmまで製造可能
熱伝導・熱放射率が大きく、均熱性が高い
熱衝撃に強く、急熱・急冷に耐える
Siにマッチした低熱膨張
フッ素系ガス耐食性に優れる

用途

エッチングなどサセプター各種、半導体製造装置用CVD、静電チャック、ヒーター均熱板

真空チャック、ダミーウエハー、ターゲット、化合物半導体製造装置用部品　他

仕様

特性		FAN-90	FAN-170	FAN-200
熱伝導率	W/m・K（RT）	90	170	200
熱放射率	（100℃）	0.93
熱膨張係数	10^-6/℃（RT～400℃）	4.5
耐熱衝撃	ΔT（水中落下）	400（文献値）
絶縁抵抗	Ω・cm（RT）	＞10¹³
絶縁耐圧	kV/mm（RT）	15
誘電率	（1MHz）	8.8
誘電損失	10^-4（1MHz）	5
曲げ強度	MPa	250-300	300-400
密度	g/cm³	3.2	3.3
Y（イットリウム）	wt%	0.0	3.4
O（酸素）	%	0.6	1.7