550mmφと世界最大クラスの窒化アルミニウム部品も製造可能です。
ウエハーの大口径化にも対応して参ります。
ビジネス分野
  • 半導体製造装置用CVD
  • エッチングなどサセプター各種
  • 静電チャック
  • ヒーター均熱板
  • 真空チャック
  • ヒーター
  • ダミーウエハー
  • ターゲット
  • 化合物半導体製造装置用部品
  • 概要
  • 仕様

半導体製造装置(前工程用)は、デザインルール微細化とウェーハ大口径化(300mmφ以上)への対応が求められています。それには、装置を構成する部品の材料の選定が極めて重要となります。
窒化アルミニウム(AlN)は、熱伝導性・熱放射性(放熱)、耐熱衝撃性、電気絶縁性に優れ、Siウェーハにマッチした熱膨張をもつ、特性のバランスの良い材料です。

【熱伝導率】

  • 90W/k、170W、200W、230W

 

【外形寸法】

  • 最大φ550mmまで製造可能
特長
  • 熱伝導・熱放射率が大きく、均熱性が高い。
  • 熱衝撃に強く、急熱・急冷に耐える。
  • Siにマッチした低熱膨張。
  • フッ素系ガス耐食性に優れる。
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アドバンスドテクノ事業部

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