ASTM D5470-17による評価方法
TIM評価において唯一定義されている規格がASTM D5470-17です。
ASTM D5470-17では、熱伝導率という用語は均質なバルク体に用いられるものであり、TIMは異種材料の複合体であるため、見かけの熱伝導率だと述べています。
測定方法のポイントは以下の通りです。
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・定常法を用いること。つまり均質なテストブロック(例えば銅、アルミなど)にサンプルを挟み、温度勾配を設け、そこに流れる熱流W(Q)、温度差⊿Tから熱抵抗を算出。 ・材料の接触抵抗、つまり界面熱抵抗率mm²K/Wを求めるため、そのブロックを平行に保ち、接触面の粗さを0.4μm以下にすることを定義。 ・測定温度は特定していないが、指定が無い場合はサンプル温度を50℃、圧力(荷重)については接触抵抗が取れる程度、厚み(BLT=Bond Line Thickness)は最低でも3点以上で行うこと。 ・熱伝導率W/m・Kは下記式より求められる。 Rtheff:実効熱抵抗 (K/W) |
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ASTM D5470-17での定常法では、ヒーターおよびテストブロックがデバイスにおける発熱体、クーラー側のテストブロックはヒートシンクになっています。これにより、接触抵抗(界面熱抵抗)を含めた測定、つまり実際にTIMが使われるであろう状況と同じ状態で測定ができます。
より実環境に近い状態での測定を行い、TIMに求められる最も重要な役割である「接触抵抗、界面熱抵抗を下げられているのか?」を比較することができる測定法と言えます。

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