高周波電源装置 | 松尾産業

高周波電源及びマイクロ波電源は主に半導体製造装置などのプラズマ発生源として使用されています。
また、高周波加熱やマイクロ波加熱の用途としても多く使用されています。

マイクロ波電源については、安価なマグネトロン発振タイプや消耗品であるマグネトロンを使用しないソリッドステートタイプなどニーズに合わせた幅広いラインナップを有しております。
整合器についても自動、手動と用途に応じて選択いただけます。
また、接続導波管やマイクロ波漏洩検知器、マイクロ波測定器等さまざまな製品を取り扱っております。

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